エンジニアリング

テクノロジー / 産業用空調
ドライクリーンルーム・恒温恒湿

ドライクリーンルーム

露点温度マイナス60℃の低湿度空間を安定的に提供。

ダイキンが世界に誇る高性能乾式除湿機「ハニードライ」と当社の冷凍機技術を融合させ、製造環境に応じた低湿度環境を安定的かつ、省エネルギーに提供いたします。

特徴
  • 露点温度マイナス60℃を除湿空気で実現。
  • 24時間365日の連続運転で10年間の稼働実績を持つハニードライを採用。
  • 「局所ドライ化と全体ドライ化との併用」や「発湿負荷に応じた運転モード設定」等により、省エネと生産効率向上との両立を実現します。

環境対応型ドライクリーンルーム

環境対応型ドライクリーンルーム/システムフロー

環境対応型ドライクリーンルーム/システムフロー

既存施設にも簡単に導入できるシステムもご用意しております。

必要なゾーンだけを低湿度環境にするドライ供給システム
  • 循環型
  • オールフレッシュ型
グローブボックスの煩わしさを解消したオープンドライチャンバー

超精密空調システム

従来の除湿に掛かるエネルギーの消費を抑えた、省エネシステム。

冷却コイルで除湿も行い、再熱していた従来の除湿方式を改善。潜熱コイルと顕熱コイルに分けることで、無駄な冷却や再熱を徹底的に排除し、大幅な省エネ化を図っています。

特徴
  • 除湿による室温の低下にともなう無駄・不具合を軽減。
  • 除湿に掛かる負荷と冷却に掛かる負荷が分散されエネルギーの無駄を軽減。(約30%軽減)
  • 天井から床へ気流が抜けるダウンフロー方式で、発熱体を素早く処理。
  • 時間変動幅0.5℃/hの高精度センサーを室内に複数設置し、最適制御を行うことで分布精度を向上。
  • 複数系統によるシステム構成で、故障時も片系統運転が可能。

空調システム

超精密空調システム概要図

  • 従来方式(全熱コイルのみ)

    室内が適温であっても除湿が必要な場合は冷却が行われ 過冷却状態となり不効率。

    従来方式(全熱コイルのみ)
  • 潜熱・顕熱コイル分割方式

    顕熱・潜熱に分けて必要分だけを冷却するため、無駄なく適温・適湿となり効率的。

    潜熱・顕熱コイル分割方式

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